渦流探傷技術在電阻檢測方向上的運用
渦流檢測是建立在電磁感應原理基礎之上的一種無損檢測方法,它適用于導電材料。當把一塊導體置于交變磁場之中,在導體中就有感應電流存在,即產生渦流。由于導體自身各種因素(如電導率、磁導率、形狀,尺寸和缺陷等)的變化,會導致渦流的變化,利用這種現象判定導體性質,狀態的檢測方法,叫渦流檢測。
相關(硅,多晶硅,碳化硅等)半導體/太陽能電池材料
的新材料/相關功能性材料(碳納米管,DLC,石墨烯,銀納米線等)
導電薄膜相關的(金屬,ITO等)
硅基外延離子注入的樣品
化合物與半導體有關的(GaAs Epi,GaN Epi,InP,Ga等)
其他(*請與我們聯xi)
無論樣品大小和形狀如何均可進行測量(但是,大于20mmφ且表面平坦)
[電阻率] 1 m至200Ω·cm
(*所有探頭類型的總范圍/厚度500 um)
[抗熱阻] 10 m至3 kΩ/ sq
(*所有探頭類型的總范圍)
*有關每種探頭類型的測量范圍,請參閱以下內容。
(1)低:0.01至0.5Ω/□(0.001至
0.05Ω- cm)(2)中:0.5至10Ω/□(0.05至0.5Ω-cm)
(3 ))高:10至1000Ω/□( 0.5至60Ω-??cm)
(4)S高:1000至3000Ω/□(60至200Ω-cm)
(5)太陽能晶片:5至500Ω/□(0. 2至15Ω-cm)
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