filgen鋨等離子體鍍膜機(jī)的導(dǎo)電超薄膜形成機(jī)理

發(fā)布日期：2024-12-25      瀏覽次數(shù)：18

filgen鋨等離子體鍍膜機(jī)的導(dǎo)電超薄膜形成機(jī)理

這是一種主要用于SEM樣品的導(dǎo)電性薄膜的制造裝置，采用“利用直流輝光放電的負(fù)輝光相區(qū)域的等離子膜制造方法”。

導(dǎo)電超薄膜形成機(jī)理

標(biāo)準(zhǔn)型可選配導(dǎo)電超薄膜形成機(jī)構(gòu)。 此外，它可以作為選項(xiàng)安裝在您已經(jīng)使用的設(shè)備（兼容型號(hào)）上。 僅低電流法、僅混合氣體法、低電流法+混合氣體法均可作為選項(xiàng)安裝。 導(dǎo)電超薄膜機(jī)構(gòu)（混合氣體法）和親水處理機(jī)構(gòu)不能同時(shí)安裝。 此外，主機(jī)的外部尺寸和重量將根據(jù)安裝的選件而變化。 此外，關(guān)于這種導(dǎo)電超薄膜機(jī)制，我們已經(jīng)獲得了使用鋨等離子體鍍膜機(jī)的成膜方法的。 名稱：導(dǎo)電超薄膜機(jī)構(gòu)（低電流法） 號(hào)：第5419723號(hào) 發(fā)明名稱：導(dǎo)電薄膜的等離子體沉積方法

[抑制影響超薄膜厚度再現(xiàn)性的浪涌電流的影響] 放電開始時(shí)，會(huì)產(chǎn)生超過(guò)穩(wěn)定電流的大量浪涌電流。這種浪涌電流的發(fā)生很難預(yù)測(cè)，而最大限度地避免這些影響是提高3.0 nm以下超薄膜厚度再現(xiàn)性的關(guān)鍵。
Philgen的導(dǎo)電超薄膜沉積機(jī)制 從沒有電流流動(dòng)的真空狀態(tài)施加放電電壓，逐漸增加OsO4氣體的量，并在監(jiān)控放電電流的同時(shí)控制放電時(shí)間，以減少浪涌電流的影響，從而實(shí)現(xiàn)了最小化。超薄膜的膜厚再現(xiàn)性高。 （標(biāo)準(zhǔn)型與導(dǎo)電性超薄膜形成機(jī)理的比較） - 標(biāo)準(zhǔn)型 導(dǎo)電超薄膜形成機(jī)理 最小膜厚設(shè)定值 1納米 0.1納米 按下啟動(dòng)開關(guān)后的流程 OsO4氣體介紹 從沒有放電電流流過(guò)的真空狀態(tài)施加電壓 氣體導(dǎo)入量控制 逐漸增加OsO4氣體的量 放電開始 放電電流根據(jù)氣體量逐漸增加。 出院結(jié)束 出院結(jié)束


“低電流法+混合氣體法”與“低電流法”安裝方式比較

 

OPC80T-LM （低電流法+混合氣體法） OPC80T-L （低電流法） 該類型在傳統(tǒng)鋨等離子體鍍膜機(jī)（OPC80T）的基礎(chǔ)上增加了低電流法/混合氣體法 。 可以以良好的再現(xiàn)性形成約0.5至3nm的超薄鋨膜。 您也可以使用標(biāo)準(zhǔn)類型的膜。 點(diǎn)擊此處查看 超薄鋨膜-等離子體聚合膜的截面TEM圖像 該類型在傳統(tǒng)鋨等離子體鍍膜機(jī) (OPC80T) 的基礎(chǔ)上增加了低電流方法 。 可以以良好的再現(xiàn)性形成約0.5至3nm的超薄鋨膜。 您也可以使用標(biāo)準(zhǔn)類型的膜。 點(diǎn)擊此處查看 超薄鋨膜-等離子體聚合膜的截面TEM圖像



低電流法和混合氣體法

 

●低電流法 該方法從OsO4氣體濃度低至足以防止輝光放電開始的高真空狀態(tài)施加電壓，并以低放電電流形成膜。這通過(guò)防止在放電初始階段流過(guò)大電流來(lái)提高再現(xiàn)性。 ●混合氣體法 通過(guò)在OsO 4 氣體中混入惰性氣體，OsO 4 氣體濃度降低，成膜速度降低，控制變得容易。由于可以僅使用惰性氣體進(jìn)行放電，因此可以擴(kuò)展到蝕刻等。