Autocrater拋光機的原理分析

發(fā)布日期：2023-11-15      瀏覽次數(shù)：603

Autocrater拋光機的原理分析

Autocrater可以通過用旋轉(zhuǎn)的鋼球拋光樣品并使用光學(xué)顯微鏡測量拋光痕跡的長度來測量薄膜厚度。



■無需樣品制備

無需進行切割、拋光或樹脂嵌入等樣品制備即可創(chuàng)建橫截面。
可以按原樣測量沉積的樣品。

■可評估多層膜

各層的膜厚可以通過化學(xué)處理等改變膜的組成作為色調(diào)的差異來評價。

■應(yīng)用實例

TiN、CrN、TiAlN、TiCN 等、DLC、電鍍、這些的多層膜

本試驗機根據(jù)磨痕長度測量結(jié)果，采用ISO20423《弧坑磨削法測定涂層厚度》中規(guī)定的計算方法計算涂層厚度。此外，為了用該測試儀測量薄膜厚度，您將需要一個單獨的顯微鏡來測量拋光痕跡的長度。

測量原理及規(guī)格

首先，滴下金剛石漿料，并用旋轉(zhuǎn)的鋼球拋光樣品表面。	接下來，觀察創(chuàng)建的拋光痕跡并 測量上圖中 X 和 Y 之間的距離。
	根據(jù)測量的長度 X 和 Y 以及用于拋光的球的半徑，根據(jù)上式計算膜厚度。

●規(guī)格
◆軸轉(zhuǎn)速：100～3,000rpm
◆可設(shè)定旋轉(zhuǎn)時間：1秒～60分鐘
◆最大樣品尺寸：φ40mm

*可選配亞克力蓋。

消耗品

金剛石漿料和球



日本球SUJ2材質(zhì)	φ20mm
日本球SUJ2材質(zhì)	φ30mm
金剛石漿料	粒徑1.0μm（100cc）

*純國產(chǎn)（日本制造）Nanotech制造

Autocrater 測量示例

TiN 涂層測試件

• 球直徑：30 mm
• 電機轉(zhuǎn)速：400 rpm
• 測試時間：30 秒
• 漿料類型：金剛石漿料 1.0 µm