液晶面板材料用表面缺陷檢測設備介紹

發布日期：2022-06-16      瀏覽次數：822

液晶面板材料用表面缺陷檢測設備介紹

表面缺陷檢測設備（一般）

 


應用流傳已久的魔鏡(透光鏡)原理，達成實時檢測鏡面平板基材表面狀態的裝置。受世界各地的矽晶圓廠所用。

非接觸、非破壞性的檢查，以及免維護的光學系統根據選配，可追加表面缺陷自動判定影像處理軟體、自動化搬運裝置、影像儲存、影像列印等功能。



1、即時顯示所有表面狀態。

2、光學系統對應等級１

3、學系統無須維護。

4、根據檢測內容，可修正檢測靈敏度。

詢問此產品的型錄

檢測尺寸	從φ100mm至φ300mm
檢測內容	平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
檢測倍率	1x / 3x 模式可切換（標準設備）
檢測靈敏度	檢測靈敏度可連續調整
使用光源	550nm　（固定照度之穩定光源）
鏡頭	高解析度CCD鏡頭
平臺	手動平臺（標準設備）


用途

 鏡面晶圓的表面檢測

 滑線檢測

 玻璃基板檢測

 其他鏡面基板檢測
 

選配

 電動馬達檢測平移臺

 自動判定缺陷影像處理裝置

 影像列印機

 搬運裝置